中国第一座G6 IGZO厂湿制程设备已成功交付安装 Manz跨入全新里程碑

技术领先的显示器生产领导设备商—Manz亚智科技凭借创新的研发设计、专业的生产与制程技术，成功获得国内第一座G6 IGZO厂湿制程设备订单，首批设备已于今年2月底交付安装。

通过首张IGZO显示器湿制程生产设备订单的交付与装机，标志着Manz的湿制程设备生产已跨入了新的里程碑，进一步稳固了其在大中华地区显示器市场的领先地位，为2017年奠定了一个良好的开端。

由于IGZO薄膜电晶体技术可以使面板耗电量降至三分之二，国内第一座国产企业投资的G6 IGZO厂，已用实际行动响应国家节能减排的号召。

在相关政策的支持下，国内面板厂的大尺寸面板8.5代线产能超前，中小尺寸高技术含量的LTPS、OLED急起直追，让台湾地区以及韩国的面板厂倍感压力。目前，市场上的面板技术各有优缺点，而手机、平板电脑等行动装置要求高分辨率、更省电，LTPS与IGZO在分辨率及省电效果的表现差异不大，但以量产成本而言，LTPS的投资生产成本远高于IGZO，且IGZO仅需在现有的a-si产线基础上增加设备投资即可投产，IGZO技术突破发展瓶颈，投资成本得以下降，产品表现性价比高，目前已成为中尺寸行动装置的主流趋势。

以往， IGZO受制于金属材料的制程研发、专利取得及良率等问题，具备量产能力的面板厂屈指可数。虽然目前IGZO背板占LCD显示器比重不高，但其具有大尺寸量产性、高分辨率、省电、可与OLED结合、发展自由形状显示器、乃至非显示器类的医疗应用等优势。相信通过此座G6 IGZO厂的投产，IGZO在国内的市占率也将有望提升。

Manz的湿制程生产解决方案在显示器产业有着30年以上的长足技术与经验，包括面板清洗、显影、黄光蚀刻及剥膜。IGZO面板的电子移动速度快，在生产制程主要是采high ppi制程，对于玻璃基板表面的洁净度、精度跟微粒（particle）的要求与一般非晶硅面板(a-si LCD)相比较为严苛。

一般非晶硅面板对于微粒清洗要求为: 200颗以内，去除率>=95%； Manz的G6 IGZO湿制程设备能有效控制其微粒数量在100颗以内，去除率(remove rate) >=99%，完美达标G6 IGZO面板生产对于湿制程设备的严峻要求。

继2016年成功获得G8.6大世代面板湿制程订单及G6 IGZO技术湿制程订单后，Manz凭借创新的研发理念，继续不断在湿制程设备生产上追求技术突破。

随着面板尺寸大型化，使用传统制程设备技术无法提高良率，无论是LTPS还是IGZO显示器制程，在Cell段的液晶配向制程已经改为新一代光配向(photo-alignment)来取代现有刷磨式配向(rubbingalignment)。

新一代的液晶光配向技术在紫外光照射完液晶后，通常须通过湿制程清洗设备来清除固化反应产生的反应副产物，此清洗设备须具备抵抗高挥发、高腐蚀药液溶剂如O3或IPA的处理能力。

目前，Manz已成功研发出新一代光配向技术所需的高阶功能性清洗设备并已具有销售实绩，品质深受信赖。预计2017年内，将会陆续于客户端装机并投产。

如今，环保节能已成为各国持续发展的共识，也是全球消费者普遍形成的共同价值趋向。近年来，平板电视市场占有率极速上升，随之而来的高能耗问题也日益得到各国的关注。Manz的IGZO面板湿制程设备亦具备卓越的低能耗特点，充分响应了政府所倡导节能减排的号召。

Manz亚智科技总经理兼显示器事业部主管林峻生表示：“Manz作为全球湿制程设备领导设备商，凭借创新的研发设计及融合30多年经验的专业技术，不断追求技术突破。此次通过国内第一座G6 IGZO厂湿制程设备订单的交付与装机，标志着Manz在显示器市场的湿制程设备再次成功迈入新的里程碑。”

Manz 集团 ——激情成就高效能（Passionforefficiency）

Manz 集团总公司位于德国罗伊特林根城，是一家全球领先的高科技设备制造商。1987 年成立的Manz 公司，现已从自动化专家，成功发展成为生产设备解决方案的供货商。

Manz 专精于六项科技领域，包含自动化、量测与检测、激光工艺、化学湿制程、印刷与涂布，及卷对卷技术，这些核心技术应用于Manz 在“电子装置及元器件”、“太阳能”及“储能”三大策略领域的技术扩展，并将在未来持续向前发展。

Manz 集团于2006 年在德国公开上市，由创立者Dieter Manz 先生担任首席执行长，Manz 集团在德国、斯洛伐克、匈牙利、意大利、中国大陆及台湾皆设有自己的生产据点；而Manz 集团的业务销售及服务网络遍布全球，包括美国、南韩和印度。

在公司宣言“激情成就高效能”的推动下，Manz 承诺未来会为各种重点产业的客户，提供更高效能的生产系统解决方案。作为世界领先的设备制造商，Manz 为其全球众多客户降低终端产品的生产成本作出了巨大贡献。

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